哈爾濱工業大學超高真空掃描隧道顯微鏡第二次項目招標公告
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公告摘要
各有關單位請于2012.10.30前與公告中聯系人聯系，及時參與投標等相關工作，以免錯失商業機會。
部分信息內容如下：（查看詳細信息請登錄）
一、項目名稱：超高真空掃描隧道顯微鏡
二、設備產地：國外
（產地“國內”是指：國內制造及中國關稅已經付清的國外制造的產品，具體情況請致電技術聯系人）
三、招標方式：公開招標
四、招標編號：*********
五、采購數量：*
六、主要技術指標：
參考品牌：德國Omicron公司和德國Specs公司
參考型號：VT-STM
超高真空掃描隧道顯微鏡系統的技術要求如下：
A：主要功能
*、實現原子分辨圖像采集
*、進行變溫掃描隧道顯微研究
*、原位程序升溫脫附研究
*、實現原位樣品清潔制備
B：工作條件
*電源：***V，**Hz
*溫度：操作環境**&#;***;C-**&#;***;C
*濕度：操作狀態**-**%
C：主要技術指標要求
（注：以下標注*項為必須滿足項。如不能滿足，將不予考慮購買。）
*．掃描隧道掃描隧道顯微鏡 （STM）
*.** 具變溫STM模式，達到原子分辨率。
*.** 掃描測量時最小溫度范圍（導體、半導體樣品）：（使用液氮冷卻條件下）***K－***K。
*.** 溫度測量裝置以及加熱和冷卻PID溫度控制裝置。
*.* 穩定性要求：
*.*.** 溫度穩定性：在***-*** K溫區內，ΔT≤±*.*K/小時；
*.*.** 橫向漂移≤*.* nm/min，縱向漂移≤*.* nm/min；
*.*.** 穩定性<* pm。
*.* 掃描區域和速度，要求：
*.*.* 掃描區域可調，大范圍&#;*****;**** nm×**** nm，小范圍&#;*****;** nm×** nm；
*.*.* 滿足原子分辨要求下，STM測量的掃描速度 ≥***** pixels/s。
*.* 全自動進針，配有配備光源。
*.** 可以在樣品表面所在平面內x、y方向上至少* mm 活動范圍內任意選擇掃描區域
*.** 須配備可實現以上要求的電子控制（電源器power supplies，控制器controllers和連線cables）和計算機軟、硬件操作系統及其他保證整個系統正常運行所需的所有部件。
*．掃描隧道顯微鏡分析室(STM Chamber)
*.** 極限真空：壓強≤*×** &#;****;* Pa；
*.** 無磁不銹鋼腔體；
*.** *個離子泵，抽速≥***升/秒，和*個鈦升華泵，包括電源、連線和控制器；
*.** *套高精度離子規及其控制器；
*.** 可存放至少*個樣品的存貯裝置；
*.** 與樣品制備腔（即主腔）相連的手動閘板閥；
*.** 至少*個空余法蘭(Blank Flanges) 留待進一步安裝蒸發源或多項氣體入口；
*.** 至少*個視窗（Viewport）用于監控樣品傳輸、放置等；
*.** 用于樣品傳輸的磁力傳輸桿和機械鉗。
*.** 如果掃描探針不能在位更換而需采用在位離子濺射清潔，必須在STM chamber中配備離子槍、單獨進氣氣路和單獨精密微漏閥、并與一套前級無油干式機械泵和渦輪分子泵相連作為真空差抽裝置 （注意：可與主腔的三路進氣系統、主腔離子濺射系統和load lock共用這套機械泵和渦輪分子泵，但必須和主腔自己的一套機械泵和渦輪分子泵分立。）
*．主腔：樣品準備和表征室
（Main Chamber：Sample Preparation Chamber）
*.** 極限真空：壓強≤*×** &#;****;* Pa；
*.** 無磁不銹鋼腔體；
*.** *個渦輪分子泵，抽速≥***升/秒，以及前級無油干式機械泵，包括電源、連線和控制器；
*.** 真空腔和泵之間由氣動閘板閥(pneumatically operated gate valve)相隔；
*.** *套離子規(Bayard-Alpert型)和*套pirani規，及其電源、連線和控制器；
*.** 樣品架(manipulator)需滿足五維度運動要求，包含X、Y、Z平動，繞軸***°轉動，和自身方位角(azimuth rotation)近***度轉動（即水平*度到***度）；平動運動范圍滿足傳樣和進行樣品清潔以及各項測試實驗的合適距離要求；樣品架可對樣品進行直接加熱和電子束加熱，樣品可加熱至****K，同時可用液氮冷卻至***K（如需用機械泵抽液氮制冷，需包含機械泵和杜瓦瓶），樣品架需配有高準確度熱偶，誤差小于*%，需有PID溫度控制器，升溫速率*~** K/min 快速和慢速升溫都嚴格可控；
*.** 一套三路進氣裝置：包含精密微漏閥(Leak Valve)和氣路(Pipeline)；如該進氣裝置也同時為離子槍提供氬氣（即三路進氣之一為離子槍的氬氣氣路）則需要包含兩個精密微漏閥，包括一個給對于離子槍的氬氣，另一個用于另外兩個進氣路的氣體。該三路進氣裝置需與一套前級無油干式機械泵和渦輪分子泵相連，可與濺射離子源和load lock共用這套機械泵和渦輪分子泵，但必須和主腔自己的一套機械泵和渦輪分子泵分立。
*.* 若干個空余法蘭(Blank flanges) 留待進一步安裝蒸發源、X射線光電子譜的X射線源和分析器以及低能電子衍射等；
*.* 若干個視窗（Viewport）用于監控樣品傳輸以及將樣品放置于做各種測試和處理的理想位置。
*．濺射離子源 (Sputtering Source)
*.** 可適用Ar, Ne等氣體，光斑直徑至少可覆蓋**mm范圍；
*.* 最大離子動能不小于*keV，樣品上離子電流不小于*&#;*****;A；
*.** 配備進氣和真空差抽裝置。如*.**和*.*項所述，進氣口需有獨立的精密微漏閥，配有一套前級無油干式機械泵和渦輪分子泵作為真空差抽裝置，可與三路進氣系統和load lock共用這套機械泵和渦輪分子泵，但必須和主腔自己的一套機械泵和渦輪分子泵分立。
*．程序升溫脫附 (TPD)
*.** 質量測量范圍不小于*-***amu；
*.** 包含PID溫度控制器；
*.* 可操作壓強：**E-* 到**E-**mbar；
*.* 真空中**mm行程；
*.** 高準確性和重復性，誤差小于*%
*.** 回退機構。
*．進樣室 (Load Lock)
*.** 烘烤前極限真空：≤*×** &#;****;* Pa；
*.** *個冷陰極離子規及其控制器；
*.** *個氣動/手動閘板閥將進樣室與主腔相連；
*.** 一套三路進氣裝置：包含精密微漏閥(Leak Valve)和氣路(Pipeline)；
*.** 樣品加熱不小于***攝氏度；
*.** 一套前級無油干式機械泵和渦輪分子泵：這套泵除了提供load lock自身的真空度條件外，可被load lock的三路進氣裝置、主腔中的三路進氣裝置、主腔（和STM腔，如果有*.**項中所提情況）的離子濺射系統共用。需提供合理的氣路設計，保證使用。
*．系統集成
*.** 各真空室應該完整齊全，相互間應該自洽，配備合適的磁力傳輸桿和必須的機械手，保證整個系統正常運行；
*.** 樣品臺(Sample Template)在整個系統中具有通用性，保證樣品在各個真空腔室之間自由傳輸和應用；
*.** 要使樣品能在處理和測試中放置于合理位置，不能妨礙樣品傳輸，不能互相干擾，更不能造成相互污染。
*.* 各真空腔室安裝在穩定堅固的框架上，如有必要，可配備空氣腳用于減震；
*.** 配備烘烤系統及其控制器；
*.** 配備足夠的電源柜；
*.** 配備各項功能相應的電腦硬件和軟件；WindowXP/Win*操作環境；進口品牌計算機，其配置不低于：*.* GHz/ **** MB內存，*** GB硬盤，CD-RW(可讀寫光驅),**寸LCD顯示器，HP激光打印機。
*．技術文件
*.** 全套用于安裝、操作、維護技術文件
*.** 主機、各功能部件的基本結構和使用說明書，維修保養說明書
*.** 軟件操作手冊
*.** 設備圖紙和電子版說明書
*．服務要求
*.** 在儀器抵達客戶所在實驗室前，供應商需對所在實驗室進行機械振動和電磁干擾測試，檢驗實驗室條件是否適合放置該儀器。
*.** 供應商負責在客戶所在地的設備安裝、調試、培訓。
*.** 設備調試、驗收須按照有關國際標準和規范及投標方中標時所提供的技術要求進行。同時提供設備的出廠檢驗報告和質量合格證書。
*.**安裝培訓內容及方式：培訓由投標方資深工程師執行，時間不少于**個工作日。其地點為用戶指**裝現場，培訓內容包括：儀器工作原理及儀器的操作、軟件操作及應用、日常維護事宜。培訓結束后雙方簽訂驗收報告。
*.** 兩年免費服務(人為因素的損壞除外)
*.** 軟件免費升級服務
*.** 終生可更換配件服務(超過保修期可適當收費)
*.** *&#;*****;**小時技術支持熱線，**小時內電話響應，若需現場維修，*個工作日現場響應。
七、投標商準入資格
（*）具有在境內的獨立法人資格以及相關資質證明文件；本次招標如出現一個投標人的二個授權代表來參加本次投標，則該投標人的投標資格將被當場取消,投標保證金不退，本次招標不接受聯合體投標，前來投標的單位需要提供上一年度經會計師事務所審計的審計報告。
（*具備中國政府采購法第二十二條的條件。
（*）本次招標公告截止日期為****年**月**日中午**點整,有意參與投標的供應商請將投標申請表及營業執照復印件快遞（或送達）予我們，以便于有效安排開標事宜。
(*)如果報名情況符合開標條件，標書將在報名截止后以電子郵件的形式發送到您的郵箱，敬請自行查詢郵箱并仔細閱讀標書，哈工大招標辦不再另行通知，如有疑問可致電或到訪招標辦，請在規定時間交納標書款、投標保證金（標書款收取后一概不退）獲取投標資格。
（*）請于開標前一天（節假日順延）下午*：**-*：**到指定地點（*******西大直街**號，*******行政辦公樓***室招標采購辦公室）購買標書，開標前交投標保證金，未按照要求購買標書的供應商不能取得投標資格。（如有疑問可致電或到訪招標辦）
八、報名辦法
招標人：*******
招標人地址：*******西大直街**號，*******行政辦公樓***室招標采購辦公室
招標聯系人：張立 聯系電話：****－********
技術聯系人：于淼 聯系方式：***********
郵政編碼：******
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為保證您能夠順利投標，請在投標或購買招標文件前向招標代理機構或招標人咨詢投標詳細要求，有關招標的具體要求及情況以招標代理機構或招標人的解釋為準。
