本設備為氣缸槽寬板規專用檢測設備，能實現快速檢測以及數據處理

板規自身厚度公差要求±0.5μm，平面度及平行度要求≤0.8μm。設備測量精度應滿足如下要求：

      A、重復精度≤0.5μm；

      B、測量精度≤0.5μm；

設備壽命要求：整機壽命≥5年，精密傳感器壽命≥1年或一千萬次；

能夠同時顯示5個測量點的測量數據，并自動計算5個測量結果平均值、最大值和最小值之差得出平行度，并根據設置的判斷標準進行自動判斷；

檢測時，有兩種方式進行數據記錄，一是手動方式按下記錄功能鍵，二是自動方式根據預設的記錄時間進行自動記錄，每個工件的檢測數據能夠自動記錄到指定表格中，檢測完成后可直接打印；

測量操作方便、測量效率高，一件板規的整個檢測過程要求在1min內；

檢測時，不能導致工件的表面出現刮傷或打痕；