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淮海工學院原子層沉積系統招標公告

信息發布日期:2017.02.18 標簽: 江蘇省招標 
加入日期:2017.02.18
截止日期:2017.02.24
招標業主:淮海工學院
地 區:江蘇省
內 容:*****對本項目組織公開招標,現歡迎符合相關條件的合格供應商前來參與招投標活動。 *、招標項目名稱及編號:原子層沉積系統;SSC******* *、招標項目簡要說明: *、項目清單 序號貨物名稱單位數量 *原子層沉積系統套* *、技術要求:請見附件項目(貨物或者服務)需求說明 *
 
招標公告正文
 

淮海工學院對本項目組織公開招標,現歡迎符合相關條件的合格供應商前來參與招投標活動。

1、招標項目名稱及編號:原子層沉積系統;SSC2016080

2、招標項目簡要說明:

1、項目清單

序號

貨物名稱

單位

數量

1

原子層沉積系統

1

2、技術要求:請見附件項目(貨物或者服務)需求說明

3、投標人資質要求:

參加本次招標采購的供應商必須是經有關部門批準有合法經營資質、符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條的規定獨立法人。

投標企業及其法人代表和項目負責人***

4、投標產品應具有的特殊要求

接受進口產品投標;可免稅;

設備配置及技術指標必須滿足我院招標要求。

5、投標保證金:

參加招標采購所需交納的投標保證金必須是人民幣,必須通過投標人本公司基本帳戶匯款至淮海工學院指定帳號,否則,由此給投標人造成的后果自負,本次投標保證金為人民幣7000元。

6、報名辦法

有意投標的單位,1、現場報名:請攜帶報名材料于即日起至2017年2月24日11:00前(工作時間上午8:30-11:00,下午2:30-5:00)前來報名。2、郵箱報名:采用郵箱報名的公司請將報名材料掃描發至hhitzbb@163.com,報名時間即日起至2017年2月24日11:00前。(2017年2月24日11:00為報名截止時間,2017年2月24日11:00后不再接受本項目報名)。

報名郵件標題請務必注明“xx公司報名xx項目”。

報名材料:(投標企業營業執照、企業法人授權書原件、聯系人身份證明)復印件,投標人所投項目、單位名稱、聯系人、聯系電話***

聯系人:童老師 王老師 聯系電話***

地址:***

附件:

項目(貨物或者服務)需求說明

一、項目清單

序號

貨物名稱

單位

數量

1

原子層沉積系統

1

二、技術要求(根據需要,可對相應項目清單單項增加文字、圖片或彩頁說明):

序號

貨物名稱

詳細的技術指標

功能要求(參考品牌)

1

原子層沉積系統

沉積方式:PE等離子體模式沉積,同時兼容熱型沉積。

基片尺寸:156 mm×156 mm方片及以下尺寸。

等離子體源:空心陽極放電模式。

射頻系統:13.56 MHz全自動匹配固態射頻源,0-300 W可調,匹配時間小于3S。

ALD閥門:Swagelok快速ALD專用閥門。

控制系統:工控機+觸摸屏顯示器。

沉積薄膜均勻性能:<±3%。

北京滬光科儀:PEALD-156

英作納米科技:LabNano PE

嘉興科民電子:PEALD-200A

三、商務要求

質保期

1年。

售后技術服務要求

含安裝、調試、維修、保養和人員培訓(僅限于基本操作培訓)。

交貨時間

合同簽訂生效后60天內。

付款方式

見第五章合同條款

售后服務保障或維修響應時間要求

供方24小時內響應需方的維修要求,48小時內解決,如超過48小時仍不能解決,由供方在48小時內提供性能不低于故障產品的備用產品。

四、其它要求

1、 因不同投標人的設備設計原理未必完全相同,投標人可視自身情況配置設備及附件,但應能充分滿足招標人的功能及參數要求。

2、投標人應保證提供滿足招標人正常使用的必要配置及附件而不再需要花費任何額外的費用,即使采購方在制定招標書時要求不夠具體。安裝后就能正常工作。

3、在評標過程中經專家組論證,確認配置有缺陷的標書,作廢標處理;因配置缺陷導致儀器功能或參數達不到招標要求的,責任由供方承擔。

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