原子力顯微鏡項目是深圳市財政委員會批復的高端人才科研啟動費項目。

 

  設備主要用途是：材料微觀納米尺度形貌表征，力學性能包括儲能模量、損耗模量、強度等參數表征，電學、磁學以及熱學的物性測量等。必要性方面：由于很多金屬材料和一些微納機械部件特征尺度細化到了納米量級，需要采用納米尺度測量儀器原子力顯微鏡進行測量表征，進而進行機理研究，所以原子力顯微鏡對實驗室開展研究工作有重要作用。

 

    該設備項目預算為130萬。  

1）投標人”系指響應采購文件要求、參加本次招標采購的供應商。 (1) 投標人必須是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區（以下簡稱“合格來源國/地區”）的法人或其他組織，在法律上和財務上獨立、合法運作并獨立于招標人和招標機構，具有相關經營范圍，有資格和能力提供本采購項目的貨物及服務的制造商或代理商（或經銷商）。須提供營業執照或企業注冊證明復印件（經營范圍必須涵蓋本次招標貨物，加蓋公章）。深圳大學是科教儀器設備減免稅單位，如果是境外供貨，投標人應有境外供貨與外幣結算資格或者是取得了境外供貨貿易商的投標授權。若投標人按照合同提供的貨物不是投標人自己制造的，投標人應得到貨物制造商同意其在本次投標中提供該貨物的正式授權書原件或是合法代理商（若投標人為合法代理商應出具有效代理證明掃描件，制造商除外）。（2）證明投標人已具備履行合同所需的財務、技術和生產能力的文件。（3）投標人須提供設備在國內的銷售業績表、合同復印件或中標通知書復印件（表中應列出設備的出廠日期、用戶名稱、地址、聯系人及聯系方式***
2）參與政府采購項目投標的供應商近三年內無行賄犯罪記錄（由采購中心定期向市人民檢察院申請對政府采購供應商庫中注冊有效的供應商進行集中查詢，投標文件中無需提供證明材料）； 

 

1．采購貨物配置功能要求，各設備的主要技術參數、性能規格

 

1.工作模式：

 

1.1.              輕敲模式帶有Q-control控制技術 (AC mode)

 

1.2.              接觸模式 (Contact mode)

 

1.3.              相位成像模式 (Phase imaging)

 

1.4.              橫向力模式 (Lateral force Microscopy LFM)

 

1.5.              磁場力顯微鏡 (Magnetic Force Microscopy, MFM)

 

1.6.              壓電力顯微鏡 (Piezo Response Force Microscopy, PFM mode)

 

1.7.              雙頻共振追蹤壓電力顯微鏡(DART-PFM)

 

1.8.              矢量壓電力顯微鏡

 

1.9.              靜電力顯微鏡 (Electric Force Microscopy, EFM)

 

1.10. 掃描開爾文顯微鏡(Kelvin probe force microscopy)

 

1.11. 動態和靜態力曲線測試（Force curve）

 

1.12. 力陣列測量 (Force Volume Measurement)

 

1.13. 納米刻蝕 (Nanolithography)

 

1.14. 納米操縱 (Nanomanipulation)

 

1.15. 高次諧波成像模式(Dual AC Mode）

 

1.16. 雙頻共振追蹤 (Dual frequency resonance tracking, DART)

 

1.17. ★智能探針校準 (GetReal) 不需要探針接觸基底即可直接標定探針微懸臂彈性常數和靈敏度，避免傳統方法為標定靈敏度需測試前要探針與基底先要接觸一次而污染探針。

 

1.18. 振幅-頻率調制粘彈性成像模式(AM-FM viscoelastic mapping mode)

 

1.19. 接觸共振模式(contact resonance viscoelastic mapping mode)

 

2.掃描器

 

2.1.              掃描器須是X,Y,Z三軸分離的掃描器，X,Y,Z三個驅動軸須是嚴格正交；

 

2.2.              X,Y方向的掃描范圍不低于90μm，Z方向不低于15μm

 

2.3.              ★掃描器閉環噪音：X,Y軸閉環噪音<150pm（Adev,1Hz到1KHz帶寬, Z軸閉環噪音<35pm  (Adev,1Hz到1KHz測試帶寬).

 

2.4.   Thermal Tuning功能來標定探針彈性常數：測試頻率不低于7MHz。

 

2.5.   系統高度噪音(探針接觸樣品表面)<20pm（Adev,1Hz到1KHz帶寬）；

 

2.6.   系統光學噪音(探針未接觸樣品表面)<10pm

 

 

3.控制器:

 

3.1.   至少二個全數字雙頻鎖相放大器。其中2個為工作在20MHz的雙頻率數字積分鎖相放大器；

 

3.2.   兩個輸出頻率在40MHz的雙頻率頻率合成器。頻率范圍從直流到最大15MHz（9mHz步長）。

 

3.3.   一個輸出頻率在10MHz的雙頻率頻率合成器. 頻率范圍從直流到最大 2MHz（2mHz步長）。

 

3.4.   控制精度：控制器應至少有10個的24位和5個16位的數模轉換器DAC，8個16位和6個18位模數轉換器ADC。

 

3.5.   數字調Q范圍：2KHz-20MHz

 

3.6.   Cross PointTM 信號交換芯片

 

-          一個32 × 32路數字化信號交換芯片

 

-          一個16 × 16路數字化信號交換芯片

 

3.7.   開放的BNC信號接口，用戶可通過開放接口提取或控制系統，可與其他設備信號交換。

 

 

4       操作軟件：

 

4.1   操作軟件永久免費升級。

 

★4.2 操作軟件源代碼開放，用戶可直接在系統操作軟件上進行二次開發；AFM系統內部的信號圖全部開放，支持用戶對AFM中的信號進行調用操作軟件不受操作系統升級影響。

 

★5. 振幅-頻率調制粘彈性成像模塊(AM-FM Viscoelastic Mapping Mode)：同時對探針施加兩個不同頻率的共振激勵信號，其中一個頻率的信號作為振幅調制的信號，另一個頻率的信號作為頻率調制的信號；該模式能夠在高分辨率形貌成像的同時原位獲得材料表面模量，表面粘附力，形變量，能量損耗以及損耗因子等納米力學性能。模量測試范圍：1MPa-100GPa.

 

★6. 接觸共振粘彈性成像模塊（Contact Resonance Viscoelastic Mapping Mode）：該模式下探針與樣品保持接觸，通過樣品夾持器激勵樣品與探針進行共振，在掃描成像的同時利用共振頻率的變化獲得樣品的彈性模量等力學性能信息。并能夠通過雙頻共振追蹤 (Dual frequency resonance tracking)模式實時的追蹤共振頻率的變化。模量測試范圍1GPa-200GPa。

 

7. 抬高模式（Lift Mode）：在同樣位置第一次掃描用來獲取形貌信息，第二次

 

掃描用來獲取其它數據（如對于表面磁學，電學特征的表征）。在第二次掃描過程中，針尖抬起并和樣品保持恒定的距離

 

8.防震隔音系統： 須為原子力顯微鏡系統自身集成的一體式防震隔音系統；其中包括主動式防震隔音臺：主動式防震1.2Hz-200Hz；被動防震大于200Hz

 

9.  樣品臺：大于50mm樣品臺，高度可達27mm

 

10.光學系統：視場范圍大于1mm2；CMOS像素點≥500萬；

 

★11. 樣品拉伸臺：該拉伸臺與原子力顯微鏡聯用以研究樣品在不同應力時的形貌以及納米力學性能等；最大可容納樣品尺寸：41mm(長)×12mm(寬)；最大位移：120mm；最大加載力：80N;  力學分辨率：0.8N或者0.2N；位移精度：500μm

 

備注：技術要求中，帶“★”號標記的為強制要求

 

 

 

 

 

 

序號	目錄	招標商務需求
（一）免費保修期內售后服務要求
1	免費保修期	產品全部驗收合格后（以技術驗收合格簽字為標準），供方向需方免費提供  2  年上門保修服務。免費保修期內，所有貨物保修服務方式均為供方派員到用戶貨物使用現場進行保修，保修期內產生的一切費用均由供方承擔（含需要返原廠修理的所有費用）。供方如不能修理或不能調換，按產品原價賠償處理。   貨物的檢修期應以雙倍計算延長免費保修期。   質保期 2年。保修承擔方為賣方，技術支持方為：生產商。
2	維修響應及故障解決時間	質保期內，供方將向需方提供優質的售后技術支持服務，開通熱線電話接受需方的電話技術咨詢，如故障不能排除，供方應在 3 日內提供現場服務，待產品運行正常后撤離現場。   保修期后繼續支持維修，并按成本價標準收取維修及零件費用。
……	其他	投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。
（三）其他商務要求
1	關于交貨	（1）合同簽訂后且免稅證明審批通過后 60個日歷日內交貨，產品的附件、備品備件及專用工具應隨產品一同交付（以下幾種情況，交貨期經雙方協商可以順延：對于研制設備，研制過程中出現特殊情況）；   （2）交貨（具體）地點：    深圳大學機電大樓S629
		1.2投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。
2	關于驗收	1.1投標人貨物經過雙方檢驗認可后，簽署驗收報告，產品保修期自驗收合格之日起算，由投標人提供產品保修文件。
		貨物抵達目的地后的檢驗程序和期限   貨物抵達交貨地點后，供方應及時通知需方進行收貨檢驗，需方接到通知后安排人員對貨物的外包裝完好性和外包裝標示的品牌、型號、規格、數量是否符合要求進行檢驗，并簽署相應的收貨報告。   6．產品質量要求標準   （1）提供的貨物必須是合法廠家生產和經銷的原包裝產品（包括零配件），必須具備生產日期、廠名、廠址、產品合格證等。   （2）需方在中國使用該貨物或貨物的任何一部分時，免受第三方提出的侵犯其專利權、商標權或工業設計權等知識產權的起訴或司法干預。如果發生上述起訴或干預，則其法律責任均由供應商負責。   7．安裝、調試和驗收標準、程序及期限   （1）供方應委派技術人員進行現場安裝、調試，并提供貨物安裝調試的一切技術支持。   安裝調試的具體時間由需方提前3天通知供方。   （2）驗收內容包括但不限于：a. 型號、數量及外觀；b.貨物所附技術資料；c.貨物組件及配置；d.貨物功能、性能及各項技術參數指標。   （3）供需雙方及相關單位共同進行開箱檢驗。依據相關法律法規要求，邀請國家商檢部門進行商檢的，商檢、檢疫費用由供方承擔。供方負責免費安裝、調試。安裝、調試完成后，由供需雙方組成驗收小組共同進行技術驗收和商務驗收，驗收合格后簽署《驗收報告》。 產品質量和安裝調試檢驗標準遵照前述標準執行。   （4）驗收中如發現有質量不合格或型號規格、數量等與送貨清單不符等情況，供方應免費更換或補齊，并承擔因更換或補齊貨物所發生的進、出口環節綜合費用和代理費用以及違約責任。
……
……
……

備注：

 

1. “（一）免費保修期內售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期內的售后服務要求，內容包括但不限于免費保修期限、售后服務人員配備、技術培訓方案、質量保證、違約承諾、維修響應及故障解決時間、方案等。

 

2. “（二）免費保修期外售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期外的售后服務要求，內容包括但不限于零配件的優惠率、維修響應及故障解決時間、方案、提供的服務等。

 

3. “（三）其他商務要求”部分，如有補充，請詳細列明。

 

 

序號	貨物名稱	招標技術要求	投標技術響應	偏離情況	說明

 

 

序號	目錄	招標商務條款	投標商務條款	偏離情況	說明
（一）免費保修期內售后服務條款偏離表
1
2
……
（一）免費保修期外售后服務條款偏離表
1
2
……
（三）其他商務條款偏離表
1
2
……

 

   

評標信息

 

序號	評分項				權重
1	價格				30
2	技術部分				53
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	技術保障措施	3	專家打分	在投標文件中詳細說明保障措施（包括技術團隊、技術方案、技術人員、場地、車輛等），評審委員會根據響應情況進行橫向比較，按優100分，良80分，中60分，差0分打分。
	2	技術規格偏離情況	50	專家打分	1. 投標人應如實填寫《技術規格偏離表》，評審委員會根據技術需求參數響應情況進行打分，各項技術參數指標及要求全部滿足的得100分，每負偏離一項（重要條款）扣10分普通條款扣5分（分值根據具體技術參數的數量綜合設定）。
3	商務需求				9
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	免費保修期內售后服務條款偏離情況	6	專家評分	投標人應如實填寫《免費保修期內售后服務條款偏離表》，評審委員會根據響應情況進行打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣50分。
	2	資質要求及其他商務需求	3	專家評分	投標人應如實填寫《其他商務條款偏離表》，評審委員會根據響應情況進行打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣30分。
4		綜合實力部分			8
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	投標人近三年同類業績	3	專家評分	提供3個同類業績即得滿分，提供2個得60分，提供1個得30分，未提供的不得分。投標人必須在投標文件中提供每一個完工項目的合同和驗收報告，否則不得分
	2	誠信	5	專家評分	根據《深圳市財政委員會關于加強招投標評審環節誠信管理的通知》（深財購[2013]27號）的要求，投標人在參與政府采購活動中存在誠信相關問題的，本項不得分，未出現相關誠信問題的得滿分。以深圳市政府采購履約評價庫和政府采購行政處罰記錄中的資料為準。履約評價無差評且沒有處罰記錄的得100分，有差評的或有處罰記錄得0分。投標人無需提供任何證明材料，由采購中心工作人員向評委會提供相關信息。