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臺式三維原子層沉積系統采購需求公示
- 信息發布日期：2015.04.09 標簽： 廣東省招標 深圳市招標
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加入日期： 2015.04.09 招標業主： 南方科技大學 地 區： 深圳市 -
招標公告正文
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( 臺式三維原子層沉積系統采購 )需求公示 項目名稱
臺式三維原子層沉積系統采購 是否預選項目
否 采購人名稱
南方科技大學 采購方式
公開招標 財政預算限額（元）
1120000 項目背景
三維原子層沉積系統(ALD)是一種高精度成膜的產品，由于實驗室條件限制，一套好的三維原子層沉積系統在保證制備穩定性的同時，還應具有占地面積小、集成度高、成膜質量好，氣流、溫度均勻性高，操作方便的特點。通過將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法(原子層沉積)制備新型新材料，是最基本的研究儀器。投標人資質要求
1）具有獨立法人資格；
2）本項目不接受聯合體投標，不允許分包。
3）近三年內（即至少從___年_____月開始起算，供應商成立不足三年的可從成立之日起算）無行賄犯罪記錄，由供應商營業執照住所地人民檢察院出具《行賄犯罪檔案查詢告知函》。告知函自出具之日起2個月內有效，有效期到期日應在本項目公告日之后。投標人須在投標文件中提供《行賄犯罪檔案查詢告知函》掃描件，原件備查。
貨物清單
序號 采購計劃編號 貨物名稱 數量 單位 備注 財政預算限額(元) 1 PLAN-2014-136001-000249 臺式三維原子層沉積系統采購 1.0 項 1120000.0 具體技術要求
1. 由于實驗室空間限制，ALD系統需為小型臺式設計，占地面積最大不能超過820 mm* 640 mm*310 mm;
2. ALD反應腔需為熱壁式設計，確保對高比表面積、3-D微納結構、粉末等樣品獲得全保型均勻沉積。熱壁加熱溫度需達300 oC；
3. 反應腔內高度不小于3 cm, 以便于多片樣品沉積；
4. 最大沉積襯底直徑為8英寸，最大沉積襯底數為9片；
5. 反應腔內溫度均勻性不低于99%, 溫度準確度< ± 1oC；
6. 8套高速ALD閥門，最短吸合時間為10 ms，8組前驅體氣路，具備多種材料ALD沉積能力；
7. 2路獨立可加熱氣體支管，分別用于有機金屬和氧化劑前驅體的輸運，確保前驅體從前驅體瓶到反應腔的輸運過程穩定，不產生預混和現象。最高加熱溫度為200 oC；
8. 配備2組可加熱前驅體瓶和1組氮氣輔助可加熱前驅體瓶。用于低蒸發率前驅體和易分解前驅體的輸運；
9. 150 ml前驅體瓶，減少更換頻率；
10. 水平氣體導入噴頭，確保反應腔內均勻的氣流和溫度的分布，從而保證厚度的均勻性；
11. 側開式的反應腔門設計，便于簡單、安全的樣品裝載和卸載，同時可以將ALD系統通過側壁與手套箱連用；
12. 具備連續和停留沉積模式；
13. 配有臭氧發生器，提供不低于8%的臭氧濃度；
14. 配有尾氣處理系統，用于分解多余前驅體，保護機械泵；
15. 全自動電腦控制，自動工藝控制軟件；
16. 薄膜不均勻性< ± 2 % (1δ) 。
產品質量：
以新的堅固的木箱或鐵箱包裝，木箱需有熏蒸證明，適用于長途運輸、防銹、防潮、防震，防粗暴裝卸，適用于整體吊裝�；驹O備質量保證包括由于材料缺陷和加工不良造成的電器和機械故障，自驗收通過之日起十二個月。
驗收程序：
提供成交貨物齊全的資料，包括使用說明、安裝手冊、維修手冊、專用工具和相應質檢手續證明文件；
對所有貨物負責安裝集成、調試。儀器到達用戶所在地后，在接到用戶通知后執行安裝調試直至達到驗收指標；
對操作人員進行技術培訓。使操作人員能掌握有關系統設備的使用、維護和管理，達到能獨立進行管理、故障處理、日常測試維護等工作的目的，以保障設備能夠正常、安全地運行。安裝調試時負責操作人員的培訓。
驗收指標：
在175oC對6英寸基片以TMA與H2O作為前驅體，沉積10 nm厚度Al2O3，不均勻性低于2%
商務需求
1.交貨要求
1.1交貨期的要求：簽訂合同后 120 天（日歷日）內。
1.2投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。
2.售后服務的要求
2.1貨物免費保修期 1 年，時間自最終驗收合格并交付使用之日起計算。在保修期內，一旦發生質量問題，投標人保證在接到通知24小時內趕到現場進行修理或更換。
2.2投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。
3.關于驗收
3.1投標人貨物經過雙方檢驗認可后，簽署驗收報告，產品保修期自驗收合格之日起算，由投標人提供產品保修文件。
3.2當滿足以下條件時，采購人才向中標人簽發貨物驗收報告：
a、中標人已按照合同規定提供了全部產品及完整的技術資料。
b、貨物符合招標文件技術規格書的要求，性能滿足要求。
c、貨物具備產品合格證。
4. ……
5. ……評標信息
序號
評分項
權重
1
價格
≥30
2
技術部分
53-64
序號
評分因素
權重
評分方式
評分準則
1
技術保障措施
3
專家打分
在投標文件中詳細說明保障措施，評標委員會根據響應情況進行橫向比較，按優81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
2
施工安全保障措施
（可選）
3
專家打分
在投標文件中詳細說明保障措施，評標委員會根據響應情況進行橫向比較，按優81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
3
交貨期（完工期）
2
專家打分
在投標文件中詳細說明交貨期（完工期），評標委員會根據響應情況進行橫向比較，按優81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
4
售后服務承諾
10-15
專家打分
評標委員會根據投標文件中售后服務承諾情況進行橫向比較，按優81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。不滿足招標文件要求的得0分。
5
樣品
（可選）
2
專家打分
（一般性、標準化程度高、市場競爭充分的采購項目不允許要求投標人提供大樣，特殊的或有特別工藝要求的方可要求投標人提供樣品。樣品需求只能將設計圖紙作為參考，不得放圖片和照片）
評標委員會根據樣品情況進行橫向比較，按優81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
6
技術響應情況
28-49
專家評分
在投標文件中詳細說明響應情況，評標委員會根據響應情況按優81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
3
綜合實力部分
4-5
序號
評分因素
權重
評分方式
評分準則
1
投標人近三年同類業績
2
專家評分
提供3個同類業績即得滿分，提供2個得60分，提供1個得30分，未提供的不得分。投標人必須在投標文件中提供每一個完工項目的合同和驗收報告，否則不得分。
2
社保情況
1
專家評分
請提供近三個月社保證明書掃描件，原件備查。根據總人數評分：優81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。未提供的得0分。
3
納稅情況
1
專家評分
請提供近一年度納稅證明掃描件，原件備查。根據納稅總金額評分：優81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。
4
獎勵、獎項、資質、資格
（可選）
1
專家評分
請提供獎勵證明掃描件，原件備查。橫向比較優81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。
4
供應商社會責任
2-10
序號
評分因素
權重
評分方式
評分準則
1
公益慈善
1
專家評分
提供近3年社會公益慈善和見義勇為情況證明材料，未提供的不得分。
2
不良行為記錄
1
專家評分
深圳企業信用網和政府采購行政處罰記錄查詢企業不良記錄，有不良記錄的不得分，沒有不良記錄的得滿分。
3
履約評價
（可選）
3
專家評分
根據投標人提交的履約評價及中心履約評價庫中資料打分。優得100分，良得80分，中的60分，差的0分。
4
環保執行情況
（可選）
3
專家評分
近三年有一次受到環境主管部門處罰的得0分，無處罰的得滿分。投標人提交承諾函，若虛假應標將被廢標并報主管部門處理。
5
總部經濟
（可選）
1
專家評分
投標人總部在深圳得100分，不在深圳得0分。提供相關政府部門出具的深圳總部企業認定的證明材料，未提供的不得分。
6
節能環保
（可選）
1
專家評分
1、財政部、國家發展和改革委員會制定的《節能產品政府采購清單》；
2、財政部、環境保護部制定的《環境標志產品政府采購清單》
上述清單以截圖及網址為準，未提供的不得分。
其它
附件
貨物采購部：0755-83938651
工程采購部：0755-83938656
服務采購部：0755-82890251
預選采購部：0755-82893020
網址：http://www.cgzx.sz.gov.cn/
地址：***
郵編：518034
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