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半導體器件參數測試儀及附件

投標人應提供所代表品牌廠商原裝的、全新的、技術先進、性能優良、結構緊湊、便于安裝和維護、符合國家及用戶提出的有關質量標準的設備。設備在正確安裝后，能確保在正常的使用過程中安全、可靠，并達到有關規定的要求。

保修年限：保修期三年，提供上門服務。保修期過后提供上門維修服務。

1.1概述

擬采購半導體器件參數測試儀及附件由以下4部分組成：

（1）測試系統主機

（2）電流—電壓測量單元3個及C—V測量單元

（3）測試軟件及參數庫

（4）測試夾具

1.2工作條件

1.2.1電源

要求符合中國制式的電源插頭，交流電壓100V~240V，頻率50Hz；

1.2.2環境溫度 ：0℃~+40℃；

1.2.3環境濕度 ：20%------90%;；

1.3主要設備技術指標要求

1.3.1基本要求

1.3.1測試系統主機

（1）測試系統主機：Win7系統、可觸摸顯示屏、電氣接地單元模塊。

（2）接地單元最大吸收電流：4.2A

（3）插槽單元數：10個

（4）其他：帶鼠標，鍵盤，顯示器，GPIB接口，數字IO接口

1.3.2電流電壓源測量單元（SMU）（需要配置3個相同型號的SMU）

（1）所有的單元模塊均可由計算機軟件獨立控制，并帶有特殊必備的輸出線纜。每個單元均具有激勵單元和測試單元。

（2）電壓輸出及測量范圍：±100V

（3）電流輸出及測量范圍：±100mA

*（4）電流測試精度：最低分辨率1fA，本底噪聲電流最低15fA

*（5）電壓測量分辨率：0.5μV

（5）輸出功率：電壓輸出100V時電流能輸出到20mA

*（6）SMU正常模式實時測量最低采樣率：100μS

（7）SMU具備高速采樣模式，最快測試時間：2μS

*（8）SMU具備脈沖測量功能，輸出最窄脈寬：500μS

1.3.3C—V測試單元

（1）所有的單元模塊均可由計算機軟件獨立控制，并帶有特殊必備的輸出線纜。每個單元均具有激勵單元和測試單元。

（2）測試頻率范圍：1kHz~5MHz

（3）測試頻率最低分辨率：1mHz

*（3）測試信號電平范圍：10mVrms~250mVrms

（4）直流偏置電壓：±25V

*（5）電容測試范圍及精度：1pF~1F，典型測試精度0.26@1MHz,1pF量程

 *（6）測試阻抗參數有：Cp-G, Cp-D, Cp-Q, Cp-Rp, Cs-Rs, Cs-D, Cs-Q, Lp-G, Lp-D, Lp-Q, Lp-Rp, Ls-Rs, Ls-D, Ls-Q, R-X, G-B, Z-θ, Y-θ

1.3.4測試軟件：

（1）要求內置豐富的元器件測試庫

（2）支持數據自動存儲記錄及歷史測試數據導入

* (3)具備模擬晶體管圖示儀曲線追蹤功能

（4）測試軟件參數庫：軟件內置CMOS的典型靜態參數測試及分析庫，同時可內置算法并計算相關參數。

1.3.5電流—電壓測試夾具：

（1）帶4引腳的測試夾具，具備Triax接口

（2）帶4個引腳鉤線和2個引腳插線

*（3）夾具本底噪聲漏電流小于100fA。

1.3.6C—V測試夾具（汞探針）

（1）樣品臺尺寸：150mm

（2）可測試樣品尺寸范圍：1.8cm~150mm

（3）水銀電極圓點直徑約760μm

（4）水銀環直徑約18mm

（5）接觸面積重復性：1.1%

（6）汞輸送方式：真空輸送

（7）汞探針接觸樣品方式：點接觸及圓環接觸

（8）圓環接觸面積與點接觸面積比：48.6

（9）三種操作模式：前后接觸，前前接觸，前后接觸帶保護環

（10）配置附件：真空泵帶控制盒；連接CV測試系統的同軸線纜；維修工具；裝汞的小瓶；操作手冊

1

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