招標編號: | 0760-0840JG091701 |
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加入日期: | 2008.09.07 |
截止日期: | 2008.09.28 |
招標代理: | 中國新時代控股(集團)公司 |
地 區: | 江蘇省 |
內 容: | 1 大束流離子注入機 1 主要應用于半導體IC圓片的大劑量注入工藝。主要應用于半導體IC圓片的大劑量注入工藝。 2 二氧化硅干法腐蝕機 1 主要應用于半導體IC圓片的二氧化硅薄膜腐蝕工藝。主要應用于半導體IC圓片的二氧化硅薄膜腐蝕工藝。 3 硅干法刻蝕機 1 主要應用于半導體IC圓片的硅膜及二氧化硅薄膜刻蝕。主要應用于半導體IC圓片的硅膜刻蝕。 4 快速退火爐 1 主要應用于半導體IC圓片的快速退火工藝。主要應用于半導體IC圓片的快速退火工藝。 5 膜厚測試儀 1 主要應用于半導體IC圓片的薄膜厚度測試。主要應用于半導體IC圓片的薄膜厚度測試。 6 涂膠顯影系統 2 用于半導體IC圓片的涂膠顯影工藝。用于半導體IC圓片的涂膠顯影工藝。 7 臥式低壓化學汽相沉積爐 1 用于半導體IC圓片的薄膜沉積工藝。用于半導體IC圓片的薄膜沉積工藝。 8 臥式氧化爐A 1 主要應用于半導體IC圓片的氧化擴散工藝。主要應用于半導體IC圓片的氧化擴散工藝。 9 臥式氧化爐B 1 主要應用于半導體IC圓片的氧化擴散工藝。主要應用于半導體IC圓片的氧化擴散工藝。 10 柵氧清洗機 1 主要應用于半導體IC圓片的柵氧清洗工藝。主要應用于半導體IC圓片的清洗工藝。 11 中束流離子注入機 1 主要應用于半導體IC圓片的中劑量注入。主要應用于半導體IC圓片的中劑量注入。 |